我国化学气相沉积(CVD)金刚石研究和产业化的过去、现在和未来
发布时间：2023-1-11
金刚石作为一种多功能超极限材料，具有优异的电学、光学、热学、力学、声学、电化学性能，在众多高新技术领域具有极佳的应用前景。尤其是化学气相沉积(CVD)金刚石膜的出现，为金刚石在诸多高新技术领域的应用创造了可能性，因此在20世纪80年代早期引发了席卷全球的“金刚石热”。北京科技大学的吕反修教授在本综述中介绍了我国CVD金刚石研究的历史、现状和发展趋势，尤其是产业化进程。1987年初我国“863计划”正式启动，CVD金刚石膜研究从一开始就得到“863计划”和国家自然科学基金的持续资助，在“八五”和“九五”期间曾设立重大关键技术项目。尽管“十五”期间，CVD金刚石膜研究经历了“最寒冷的冬天”，“863计划”不再单列金刚石膜专题，国内CVD金刚石膜研究也并未停止，金刚石膜产业化的势头同样继续加强。终于在“十一五”期间，CVD金刚石膜产业在国内出现并初步站稳了脚跟。“十二五”期间，航空航天、电子等部门都相继提出对金刚石膜的应用需求，CVD金刚石膜研究和应用继续回暖，并逐步发展壮大。 本文对我国CVD金刚石膜研究进行了全面深入的回顾，还详细介绍了金刚石膜的机械（摩擦）、热学、光学、电子和声学应用现状和发展前景。实验室培育金刚石的成功是中国CVD金刚石薄膜研发和产业化中最重要的成就。相关的成果以“Past, present, and the future of the research and commercialization of CVD diamond in China”为题，发表在Functional Diamond 杂志上。
